Cinque Terre

Automatyka przemysłowa

Regulator masowego przepłwyu serii 5100


5100 Jcharakteryzuje się konstrukcja bezspoinową, uszczelkami metalowymi, dokładnością <1%, reakcja rzędu <1s i innymi podstawowymi warunkami wymaganymi w sterowaniu procesem produkcji półprzewodników. Dodatkowym atutem tego mienrika/regulatora jest jego atrakcyjna cena.


Specyfikacja:

- Zawór normalnie zamknięty - elektromagnetyczny
- Objętość martwa jest zmniejszona dzięki membranowemu zaworowi gniazda
- Bardzo wysoka dokładność: < ±1% S.P.
- Bardzo szybki czas odpowiedzi: < 1s
- RoHS/CE

Opis Specyfikacja
Gazy procesowe: N2, Air, H2, He, Ar, O2, CO2 i inne
Zakresy przepłwyu: 10 sccm do 20 slpm
Zakresowość: 2 do 100% (F.S.)
Dokładność: ±1.0% F.S.
Powtarzalność: ±0.2% F.S.
Maksymalne Ciśnienie: 980 kPa(G).
Temperatura pracy: 0 do 50 deg.C
Materiał konstrukcyjny: SUS316
Uszczelnienia: 316SS, PTFE, Ni, Au oraz KP
Przyłącze elektryczne: D-sub 9-pin connector as per KFC Standard (Compliant with SEMI Standard)
Komunikacja analogowa I/O: 0-5 V DC
Komunikacja cyfrowa: brak
Zasilanie: +15 VDC (±5%) 100 mA, −15 VDC (±5%) 250 mA
Przyłącze mechaniczne: 1/4 VCR, 1/4 SWL
Waga: około 1000g

Inne w tej kategorii