Cinque Terre

Automatyka przemysłowa

Paris

Regulator masowego przepływu serii DF-550C


DF-550C to wysokiej klasy cyfrowe regulatory masowego przepłwyu przeznaczone do pracy z agresywnymi gazami wykorzystywanymi na przykład w przemyśle półprzewodnikowym. Mierzą przepływ z dokładnością ±1% S.P. w czasie odpowiedzi <1s. Posiadają możliwość łatwej zmiany zakresu przepłwyu oraz zmiany gazu kalibracyjnego (7 gazów do wyboru).


Specyfikacja:

- Zintegrowany wyświetlacz
- Wysoka dokładność: ±1% S.P.
- szybki czas odpowiedzi: 1s
- komunikacaj RS485
- RoHS/CE

Opis Specyfikacja
Gazy procesowe: N2, Air, H2, He, Ar, O2, CO2 i inne
Zakresy przepłwyu: 10 sccm do 10 slpm
Zakresowość: 2 do 100% (F.S.)
Dokładność: ±1.0% F.S.
Powtarzalność: ±0.25% F.S.
Maksymalne Ciśnienie: 980 kPa(G).
Temperatura pracy: -10 do 60 deg.C
Materiał konstrukcyjny: SUS316, SUS316L, magnetic SS
Uszczelnienia: Ni, PTFE, PCTFE oraz FKM
Przyłącze elektryczne: D-sub 9-pin, KFC standard (SEMI standard compliant), RJ-45 modular jacks (dwa)
Komunikacja analogowa I/O: 0-5 V DC
Komunikacja cyfrowa: RS485 (9600)
Zasilanie: +15 V DC (±5%), 150 mA; -15 V DC (±5%), 150 mA
Przyłącze mechaniczne: 1/4 VCR lub odpowiednik
Waga: około 1100g

Inne w tej kategorii